Nákup RF generátoru

Předmět plnění:
- nákupu sestavy RF generátoru s automatickým přizpůsobovacím členem, určeného pro tvorbu reaktivního mikroplazmatu
- tento systém bude využit pro přesné leptání fotonických struktur v optických materiálech s vysokou kontrolou procesních parametrů
- generátor musí poskytovat minimální výkon 500 W a pracovat v kmitočtovém standardu 13,56 MHz
- požadována je vysoká stabilita výstupního signálu a efektivní přizpůsobení zátěže v reálném čase pro optimalizaci plazmového procesu
- blíže v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- nejpozději do 8 týdnů od data účinnosti smlouvy