Napařovací aparatura

Předmět plnění:
- dodávka napařovací aparatury
- vysokovakuová komora s vnitřním rozměrem min. 400 mm
- vstupní porty umožňující napařování předmětů o velikosti minimálně 250 mm
- čerpací vysokovakuový systém s turbomolekulární vývěvou o čerpací rychlosti minimálně 400 l/s
- měření vakua vakuovými měrkami
- systém pro termické napařování s alespoň 2 zdroji napařovaného materiálu kovů a oxidů kovů
- měření napařovací rychlosti a depoziční tloušťky krystalovým měřičem
- součástí aparatury bude ovládací software pro řízení vakuového systému a depozičního procesu
- připouštění pracovních plynů jehlovým ventilem s nastavováním v rozsahu 0-20 Pa.l/s, krok na počátku rozsahu pod 0,1 Pa.l/s
- průzor do prostoru komory
- možnost budoucí integrace rotace substrátu do zařízení pro napařování válcových dílů
- možnost budoucí integrace jednoho naprašovacího zdroje

Hodnoticí kritéria:
- celková nabídková cena v Kč bez DPH - váha 70 %
- technická úroveň plnění - váha 30 %

Lokalita:
- Praha

Termín:
- do 8 měsíců od nabytí účinnosti smlouvy