Chemicko-mechanická leštička

Předmět plnění:
- dodávka zařízení pro abrazivní ztenčování a leštění desek z polovodičových materiálů, vč. instalace, uvedení do provozu a zaškolení obsluhy
- přístroj bude využívat technologii chemického a mechanického leštění rotujícím ramenem za pomoci jemně abrazivní emulze a leptacích roztoků
- bude využíván na ztenčování a planarizaci desek polovodičových materiálů
- přístroj i používaná chemie budou zakrytovány a systém bude včetně úložního prostoru pro skladování a odvod chemického odpadu
- účelem požadovaného zařízení je leštění a ztenčování substrátů z polovodičových materiálů, což zlepší technologickou úroveň v oblasti „back-end-of-line“ výroby čipových součástek a vzorků
- podrobná specifikace je v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena v Kč bez DPH

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- do 6 měsíců ode dne účinnosti smlouvy, avšak současně ne později, než 31.12.2027