Řídicí systém pro naprašovací aparaturu

Předmět plnění:
- dodávka řídicího systému pro naprašovací aparaturu
- nerezová vakuová komora – přestavba původní komory
- nový bezolejový čerpací systém s předvakuovou suchou vývěvou min. 15 m3/h s nízkou hlučností <50dB
- nová vysokovakuová turbomolekulární vývěva o čerpací rychlosti min. 650 l/s, oddělovací ventil s nastavitelnou škrtící polohou
- přestavba předčerpávání s bypass ventilem
- atd. v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nabídková cena

Lokalita:
- okres Semily

Termín:
- do 30.5.2023