Plasmatický systém
Předmět plnění:
- dodávka plasmatického systému
- plasmatický systém (PS) je zařízení, jenž se využívá k plasmatickému leptání organických i anorganických vrstev a materiálů, stripování vrstev rezistů, aktivaci povrchů atd.
- plasmatický systém je tvořen pracovní vakuovou komorou s elektrodami, vakuovou pumpou, vakuovou měrkou, radiofrekvenčním generátorem/y, budícím/i plasmatický výboj v komoře nebo/a na RIE elektrodě, přesnými dávkovači pracovních plynů a řídící jednotkou umožňující uživatelské ovládání systému a zajištující automatický běh zvoleného plasmatického procesu
- blíže viz příloha
Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena
Lokalita:
- okres Brno-město
Termín:
- do 14 týdnů po podpisu smlouvy