Samostatně stojící HMDS systém

Předmět plnění:
- nákup samostatně stojícího HMDS systému
- zařízení obsahující topnou desku, díky tomu je za zvýšené teploty nadeponována tenká vrstva hexamethyldisilazanu, jakožto adhezního promotoru, pro následné zvýšení adheze spincoatovaných polymerních rezistů ke křemíkovým a skleněným substrátům
- systém obsahuje integrovaný systém pro nanášení dusíku a HMDS, ovládání výsuvných pinů, fixace substrátu vakuem
- velikost substrátu 200 mm, max. tloušťka substrátu 14 mm
- max. teplota 250°C
- více v příloze

Hodnoticí kritéria:
- nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno - město

Termín:
- do 14 týdnů od data účinnosti smlouvy