Systém ALD s indukčně vázanou plazmou

Předmět plnění:
- dodávka systém pro depozici atomárních vrstev (ALD), včetně software a příslušenství
- systém musí umožňovat jak tepelné, tak plazmové procesy s možností jejich kombinace v rámci jednoho cyklu
- vysoká stabilita procesních podmínek a opakovatelnost depozičních cyklů
- reakční komora vyrobena z jednoho bloku hliníku, vyhřívaná na 150°C k zabránění kondenzace prekurzorů
- výkon vakuového systému a vakuových pump mezní tlak v reaktoru nejméně < 5 * 10⁻⁶ Torr
- další v přílohách

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Ostrava-město

Termín:
- max. 360 kalendářních dnů od nabytí účinnosti smlouvy

Přílohy: