Modernizace systému PECVD

Předmět plnění:
- modernizace diagnostických metod, které se využívají při výzkumu na experimentální depoziční aparatuře
- pořízení nové iCCD kamery do optického spektrometru Andor, tato kamera umožní snímat rychlé procesy probíhající v plazmatu, nový fotonásobič zlepší citlivost stávající i nové CCD kamery a rozšíří možnosti rychlých samoabsorpčních měření na konkrétních čarách v blízké infračervené oblasti
- dodávka vysokofrekvenčního generátoru s přizpůsobovacím členem pro fázovou synchronizaci se stávajícím generátorem a výzkum nezávislé kontroly energie a toku iontů

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- nejpozději do 3 měsíců ode dne účinnosti smlouvy