Experimentální systém pro vakuovou depozici nových typů tenkých vrstev

Předmět plnění:
- dodání experimentálního systému pro vakuovou depozici nových typů tenkých vrstev včetně dopravy, instalace, uvedení do provozu, odzkoušení, zaškolení, předání technického manuálu a záručního servisu
- vnitřní průměr hlavní depoziční komory > 450 mm
- vysokovakuová vývěva je vybavena škrtící klapkou pro řízení čerpací rychlosti
- max. tloušťka substrátu >=25 mm
- apod. dle přiložené dokumentace

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Semily

Termín:
- do 6 měsíců od účinnosti smlouvy