Modernizace zařízení pro deponování atomárních vrstev
Předmět plnění:
- dodávka zakládací komory (load lock) pro zařízení ALD
- dodávka proběhne včetně instalace, uvedení do provozu a zaškolení obsluhy
Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena
Lokalita:
- okres Brno
Termín:
- do 6 měsíců ode dne účinnosti smlouvy