Upgrade bezmaskového UV-laserového litografu

Předmět plnění:
- pořízení optické fokusační jednotky pro stávající zapisovací hlavu laserového litografu Heidelberg DWL66FS
- dále skenovací stolek se zabudovaným spodním optickým mikroskopem pro potřeby zasazování litografických masek na přední a zadní straně použitého vzorku
- dodáno bude také veškeré příslušenství umožňující bezproblémovou instalaci a zprovoznění požadovaných komponent

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- Nejpozději do 3 měsíců ode dne účinnosti smlouvy