Sušení pomocí kritického bodu CO2

Předmět plnění:
- dodání automatické stolní CPD pro wafery do velikosti 4" (100 mm) a MEMS včetně příslušenství
- CPD musí být designované pro práci v čistých prostorách (ISO 5) v antistatickém provedení
- musí mít účinný adiabatický chladicí systém schopný ochladit komoru z pokojové teploty na 0 °C za méně než 5 minut a udržovat teplotu automaticky během režimu plnění (FILL) a režimu proplachu (PURGE)
- nutností jsou pro nás držáky kompatibilní s HF pro wafery velikosti 3" a 2 "jsou pro nás nezbytné
- dle specifikace uvedené v Příloze C

Hodnoticí kritéria:
- nejnižší nabídková cena

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- do 10 týdnů ode dne účinnosti smlouvy uzavřené s vybraným dodavatelem