Velkoformátová naprašovačka

Předmět plnění:
- dodávka stolního naprašovacího zařízení vybaveného magnetronovými zdroji pro uniformní nanášení tenkých kovových vrstev na velkoplošných substrátech do 8" (200 mm)
- zařízení bude primárně využito pro naprašování tenkých vrstev chromu
- kromě chromu musí umožňovat naprašování široké škály oxidujících a neoxidujících (ušlechtilých) kovů pro aplikace SEM, HR SEM a pro mikrotechnologické procesy (například příprava maskovacích vrstev pro leptání)

Hodnoticí kritéria:
- nabídková cena 90%
- opatření v oblasti řízení z hlediska ochrany životního prostředí 10%

Lokalita:
- okres Ústí nad Labem

Termín:
- do 60 kalendářních dnů od zveřejnění smlouvy