Mapovací elipsometr

Předmět plnění:
- dodávka mapovacího elipsometru se schopností mapování, automatického justování vzorku a jednoduché analýzu pro měření struktur na deponovaných/ leptaných površích s velkým rozlišením
- na vrstvách zvolených materiálů přístroj změří mapu tlouštěk, v případě známého substrátu i tlouštěk nejvyšší vrstvy z multivrstvy
- účelem zařízení je vytvořit podrobnou mapu tlouštěk vrstev v procesu litografie
- důležitá je rychlost mapování (probíhá bod po bodě) a snadnost zpracování výsledků
- vzorek se musí najustovat automaticky v každém měřeném bodě
- zařízení bude umístěno v nanofabrikační laboratoři splňující podmínky čistých prostor ISO5; zařízení musí být plně kompatibilní s těmito podmínkami

Hodnoticí kritéria:
- nabídková cena 70 %
- technická kritéria 30 %

Lokalita:
- okres Brno-město

Termín:
- do 31. 12. 2026