Bezmaskový optický litograf

Předmět plnění:
- dodávka bezmaskového optického litografu pro přípravu litografických mikrostruktur podle elektronické předlohy
- rozlišení litografu ≤ 600nm;
- vlnová délka zapisovacího světla 380-390nm (LED nebo LD zdroj);
- součástí dodávky musí být optický stůl pro izolaci vibrací;
- součástí zařízení musí být funkce teplotní stabilizace;
- zařízení musí umožňovat detailní nastavení pozice vzorku - systém s mikroskopem, přesnost zarovnání ≤ 500 nm atd.

Hodnoticí kritéria:
- celková nabídková cena 50%
- technická kvalita nabízeného plnění 35%
- délka záruky osvitové jednotky a vybrané podmínky servisu 15%

Lokalita:
- Praha

Termín:
- do 30. 11. 2021